Это 3-я статья из цикла.
1-я статья — Технология электронно-много-лучевой литографии от IMS Nanofabrication
2-я статья - Mapper — наш, или еще одна технология электронно-много-лучевой литографии
KLA-Tencor Corporation – крупный производитель оборудования для всех этапов производства микроэлектроники: пластин, матриц, микросхем и упаковки. От исследований и разработок до конечного серийного производства. В корпорации прекрасно понимают потребности и тенденции в отрасли, продолжают разработку электронно-многоЧитать полностью »
